液体アルゴン
仕様
| Ar | ≥99.999% |
| H2 | ≤0.5ppm |
| O2 | ≤1.5ppm |
| N2 | ≤4ppm |
| CH4 | ≤0.4ppm |
| CO | ≤0.3ppm |
| CO2 | ≤0.3ppm |
| H2O | ≤3ppm |
パッケージ：ドットシリンダー、イソタンク、極低温タンクローリー
生産能力
毎日150トンの液体アルゴン。
